扫描电镜(SEM)是一种利用电子束扫描样品表面,通过探测电子与样品相互作用产生的信号来观察和分析样品表面形貌、结构与组成的设备。
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一、扫描电镜的原理
电子光学系统:包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室。电子枪产生高能电子束,经过电磁透镜聚焦后,在样品表面进行光栅状扫描。
信号探测与处理:电子束与样品相互作用产生多种信号,如二次电子、背散射电子、特征X射线等。这些信号被探测器接收并转换为电信号,再通过放大和显示系统形成图像。
真空系统:为了保证电子束的稳定性和防止样品污染,扫描电镜需要在高真空环境下工作。真空系统包括真空泵和真空柱,用于在样品室内产生并维持高真空。
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二、扫描电镜的使用方法
开机准备:检查电源、冷却水、真空泵等设备连接是否正常,确保工作环境清洁无尘。
样品制备:根据样品类型和观察需求,进行清洁、切割、镀金属膜等处理,确保样品表面平整、无污染物。
安装样品:将制备好的样品放置在样品台上,并安装到扫描电镜的样品室中。
抽真空:使用真空泵抽取样品室内的空气,达到所需的真空度。
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设备启动与参数设置:启动扫描电镜设备,打开相关软件界面,设置加速电压、放大倍数、扫描速度等参数。
对焦与校准:调节物镜和透镜,对样品进行对焦,并进行必要的校准操作。
观察与拍摄:通过软件界面上的缩放和导航功能,调整图像细节和位置,进行观察和拍摄。
数据分析与保存:对观察到的图像进行数据分析,如测量尺寸、计算面积等,并保存结果。
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三、常见的故障情况及维修方法
显示屏或图像闪烁或模糊
设备无法启动
灯丝无法开启
图像不清晰
软件冲突或系统不兼容
四、注意事项
综上所述,扫描电镜是一种复杂的精密仪器,其使用和维护需要专业知识和经验。在出现故障时,应冷静分析、逐级检查,并与容济机电工程师沟通交流,以快速准确地解决问题。
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五、容济机电公司维修过的扫描电镜品牌和型号
1.Thermo Fisher Scientific (FEI):
(1)Helios G4 UX DualBeam
(2)Helios G4 CX DualBeam
(3)Apreo 2 SEM
(4)Verios G4 UC
(5)Prisma E SEM
(6)Quattro S SEM
(7)Nova NanoSEM 450
(8)Nova NanoSEM 650
(9)Magellan 400 XHR
(10)Magellan 400L XHR,
(11)Apreo SEM,Talos F200X
2.JEOL:
(1)JSM-7900F
(2)JSM-7800F,
(3)JSM-7610FPlus,
(4)JSM-7610F
(5) JSM-7200F
(6)JSM-IT800
(7)JSM-IT500HR
(8)JSM-IT300
(9)JSM-7800F Prime,
(10)JSM-IT700HR
3.Hitachi High-Tech:
(1)SU9000
(2)SU8700
(3)SU5000
(4)Regulus 8220
(5)Regulus 8100
(6)TM4000Plus
(7)SU3500
(8)SU3800,
(9)S-4800
(10)S-5500
4.Carl Zeiss:
(1)GeminiSEM 500
(2)GeminiSEM 300
(3)Sigma 500
(4)Sigma 300
(5)EVO 15
(6)EVO LS25
(7) Crossbeam 550
(8)Crossbeam 340
(9)Merlin
(10)Supra 55VP
(11)Ultra Plus
(12)AURIGA CrossBeam
5.Tescan:
(1)Mira3
(2) Mira4
(3)Vega3
(4)Vega4
(5)Lyra3 FIB-SEM
(6)Solaris X
(7) Amber X
(8)Clara
(9)MAIA3
(10)FERA3
(11)Tima
6.Phenom-World (Thermo Fisher Scientific)
(1)Phenom Pharos
(2)Phenom ProX
(3)Phenom XL G2
(4)Phenom Pure
(5)Phenom Pro
(6)Phenom XL
(7) Phenom GSR
(8)Phenom World SEM
7.COXEM
(1)EM-30AX Plus
(2)CX-200Plus
(3)EM-30N
(4)EM-30AX
(5)CX-100Plus
(6)EM-40
(7)CX-3000
8.Nanoscience Instruments
(1)Apreo S
(2)Verios G4
(3)Thermo Scientific Apreo S LoVac
(4)Thermo Scientific Apreo VS SEM
9.Rigaku
(1)nano3DX,
(2)XtaLAB Synergy-R
(3)XtaLAB Synergy-S
10.Aspex Corporation
(1)Explorer,
(2)Personal SEM
(3)Aspex PSEM 2000
(4)Aspex PSEM eXpress
11.Leica Microsystems
(1)EM ACE600
(2)EM ACE900
(3)EM TIC 3X
(4)EM VCT100
12.Nikon
(1)Eclipse LV150N
(2)Eclipse LV100ND
13.Bruker
(1)ContourGT
(2)Contour Elite
(3)JPK NanoWizar
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