工控维修

  扫描电镜（SEM）是一种利用电子束扫描样品表面，通过探测电子与样品相互作用产生的信号来观察和分析样品表面形貌、结构与组成的设备。

一、扫描电镜的原理

1. 电子光学系统：包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室。电子枪产生高能电子束，经过电磁透镜聚焦后，在样品表面进行光栅状扫描。

2. 信号探测与处理：电子束与样品相互作用产生多种信号，如二次电子、背散射电子、特征X射线等。这些信号被探测器接收并转换为电信号，再通过放大和显示系统形成图像。

3. 真空系统：为了保证电子束的稳定性和防止样品污染，扫描电镜需要在高真空环境下工作。真空系统包括真空泵和真空柱，用于在样品室内产生并维持高真空。

二、扫描电镜的使用方法

1. 开机准备：检查电源、冷却水、真空泵等设备连接是否正常，确保工作环境清洁无尘。

2. 样品制备：根据样品类型和观察需求，进行清洁、切割、镀金属膜等处理，确保样品表面平整、无污染物。

3. 安装样品：将制备好的样品放置在样品台上，并安装到扫描电镜的样品室中。

4. 抽真空：使用真空泵抽取样品室内的空气，达到所需的真空度。

1. 设备启动与参数设置：启动扫描电镜设备，打开相关软件界面，设置加速电压、放大倍数、扫描速度等参数。

2. 对焦与校准：调节物镜和透镜，对样品进行对焦，并进行必要的校准操作。

3. 观察与拍摄：通过软件界面上的缩放和导航功能，调整图像细节和位置，进行观察和拍摄。

4. 数据分析与保存：对观察到的图像进行数据分析，如测量尺寸、计算面积等，并保存结果。

   
   

三、常见的故障情况及维修方法

1. 显示屏或图像闪烁或模糊

• 原因：分辨率过低、扫描速度过快、电源问题或连接线松动。

• 解决方法：调整分辨率、减慢扫描速度、检查电源线和连接线是否正常连接。

2. 设备无法启动

• 原因：电源控制部分故障、保险丝烧坏、开关电源故障。

• 解决方法：检查电源控制部分、更换保险丝、更换或维修开关电源。

  
  

3. 灯丝无法开启

• 原因：高压箱未识别、开关电源故障。

• 解决方法：检查高压箱光纤和电源输入，更换或维修开关电源。

4. 图像不清晰

• 原因：对比度设置不正确、样品表面不干净、自动对焦功能问题。

• 解决方法：调整对比度设置、清洁样品表面、检查并修复自动对焦功能。

5. 软件冲突或系统不兼容

• 原因：计算机系统不兼容或软件版本冲突。

• 解决方法：更新操作系统和软件版本，或选择兼容性更好的软件。

  
  

四、注意事项

• 环境清洁：确保操作环境无尘、无震动、无电磁干扰。

• 样品制备精细：样品的制备质量直接影响观察结果。

• 参数设置合理：根据样品性质和观察需求合理设置参数。

• 谨慎操作：轻拿轻放，避免对设备和样品造成损坏，遵循操作规程和安全要求。

  综上所述，扫描电镜是一种复杂的精密仪器，其使用和维护需要专业知识和经验。在出现故障时，应冷静分析、逐级检查，并与容济机电工程师沟通交流，以快速准确地解决问题。

五、容济机电公司维修过的扫描电镜品牌和型号

   1.Thermo Fisher Scientific (FEI)：

  （1）Helios G4 UX DualBeam

  （2）Helios G4 CX DualBeam

  （3）Apreo 2 SEM

  （4）Verios G4 UC

  （5）Prisma E SEM

  （6）Quattro S SEM

  （7）Nova NanoSEM 450

  （8）Nova NanoSEM 650

  （9）Magellan 400 XHR

  （10）Magellan 400L XHR,

  （11）Apreo SEM,Talos F200X

  2.JEOL：

  （1）JSM-7900F

  （2）JSM-7800F,

  （3）JSM-7610FPlus,

  （4）JSM-7610F

  （5） JSM-7200F

  （6）JSM-IT800

  （7）JSM-IT500HR

  （8）JSM-IT300

  （9）JSM-7800F Prime,

  （10）JSM-IT700HR

  3.Hitachi High-Tech:

  （1）SU9000

  （2）SU8700

  （3）SU5000

  （4）Regulus 8220

  （5）Regulus 8100

  （6）TM4000Plus

  （7）SU3500

  （8）SU3800,

  （9）S-4800

  （10）S-5500

  4.Carl Zeiss:

  （1）GeminiSEM 500

  （2）GeminiSEM 300

  （3）Sigma 500

  （4）Sigma 300

  （5）EVO 15

  （6）EVO LS25

  （7） Crossbeam 550

  （8）Crossbeam 340

  （9）Merlin

  （10）Supra 55VP

  （11）Ultra Plus

  （12）AURIGA CrossBeam

  5.Tescan: 

  （1）Mira3

  （2） Mira4

  （3）Vega3

  （4）Vega4

  （5）Lyra3 FIB-SEM

  （6）Solaris X

  （7） Amber X

  （8）Clara

  （9）MAIA3

  （10）FERA3

  （11）Tima

  6.Phenom-World (Thermo Fisher Scientific)

  （1）Phenom Pharos

  （2）Phenom ProX

  （3）Phenom XL G2

  （4）Phenom Pure

  （5）Phenom Pro

  （6）Phenom XL

  （7） Phenom GSR

  （8）Phenom World SEM

  7.COXEM

  （1）EM-30AX Plus

  （2）CX-200Plus

  （3）EM-30N

  （4）EM-30AX

  （5）CX-100Plus

  （6）EM-40

  （7）CX-3000

  8.Nanoscience Instruments

  （1）Apreo S

  （2）Verios G4

  （3）Thermo Scientific Apreo S LoVac

  （4）Thermo Scientific Apreo VS SEM

  9.Rigaku

  （1）nano3DX,

  （2）XtaLAB Synergy-R

  （3）XtaLAB Synergy-S

  10.Aspex Corporation

  （1）Explorer,

  （2）Personal SEM

  （3）Aspex PSEM 2000

  （4）Aspex PSEM eXpress

  11.Leica Microsystems

  （1）EM ACE600

  （2）EM ACE900

  （3）EM TIC 3X

  （4）EM VCT100

  12.Nikon

  （1）Eclipse LV150N

  （2）Eclipse LV100ND

  13.Bruker

  （1）ContourGT

  （2）Contour Elite

  （3）JPK NanoWizar

   容济机电公司长期维修扫描电镜，拥有接近30年的维修经验，可以快速抢修好各类仪器，另外回收和销售各类二手扫描电镜，欢迎咨询。