爱德华（Edwards）真空泵EPX系列手册的使用指南
引言
爱德华（Edwards）是真空技术领域的全球领先品牌，其EPX系列真空泵以独特的设计和卓越性能在众多行业中广受认可。EPX系列是一种高真空初级泵，结合了再生泵和Holweck泵的优点，能够从大气压泵至极限真空（低至1 x 10^-4 mbar或1 x 10^-5 mbar，具体取决于型号）。这一创新设计使其在需要高真空度的应用中表现出色，同时减少了对额外高真空泵（如涡轮分子泵）的需求。
在现代工业中，真空泵广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析仪器、制药和光电子等领域。EPX系列以其高效、清洁和可靠的性能，成为许多行业的首选设备。本文将详细介绍EPX系列真空泵的性能特点、使用场合、操作流程、使用细节以及故障排除方法，为用户提供一份全面而实用的使用指南。
1. 性能特点
EPX系列真空泵的性能特点使其在高真空应用中表现卓越，以下是其主要技术规格：
| 参数 | EPX180LE | EPX180NE | EPX500LE | EPX500NE |
|---|
| 峰值泵速 (m³/h) | 175 | 175 | 500 | 500 |
| 极限真空 (mbar) | <1 x 10^-4 | <1 x 10^-4 | <1 x 10^-5 | <1 x 10^-5 |
| 最大排气压力 (bar) | 0.2 | 0.2 | 0 | 0 |
| 氮气消耗 (slm) | 0 | 25 | 0 | 25 |
| 冷却水消耗 (l/h) | 120 | 120 | 120 | 120 |
| 电源电压 (V) | 200/208/400 | 200/208/400 | 200/208/400 | 200/208/400 |
| 极限真空功率 (kW) | 1.4 | 1.6 | 1.4 | 1.6 |
| 最大功率 (kW) | 3.0 | 3.0 | 3.0 | 3.0 |
| 重量 (kg) | 45 | 47 | 46 | 48 |
| 进/出口连接 | ISO63/NW25 | ISO63/NW25 | ISO160/NW25 | ISO160/NW25 |
| 噪音 (dB(A)) | <56 | <56 | <56 | <56 |
| 振动 (mm/s, rms) | <1.3 | <1.3 | <1.3 | <1.3 |
泵速与真空度：EPX180型号泵速为175 m³/h，EPX500型号为500 m³/h。所有型号均能达到<1 x 10^-4 mbar，EPX500通过额外的螺旋转子阶段可达1 x 10^-5 mbar。
冷却方式：采用水冷却系统，确保低环境热负载，适合洁净室环境。
清洁度：泵腔内无油无脂，杜绝油回迁，适合高清洁度要求的工艺。
氮气清洗：N型号（EPX180NE和EPX500NE）配备氮气清洗功能，可处理蒸气和低浓度腐蚀性气体及颗粒。
紧凑设计：重量约45-48 kg，尺寸小巧，优于传统涡轮分子泵与初级泵组合。
低噪音与振动：噪音水平<56 dB(A)，进气法兰振动<1.3 mm/s，适合安静环境。
电源效率：支持200/208/400V三相电源，极限真空功率1.4-1.6 kW，最大功率3.0 kW。
这些特点使EPX系列泵在需要高真空、低污染和高可靠性的应用中表现优异。
2. 使用场合
EPX系列真空泵适用于多种高要求场景，包括但不限于：
高真空应用：在需要比传统初级泵更高真空度的工艺中，EPX泵可单独使用，替代涡轮分子泵与初级泵组合，降低系统复杂性和成本。
频繁压力循环：适合需要从大气压快速泵至低压的工艺，如半导体制造中的负载锁定、真空涂层或分析仪器。
高清洁度要求：无油设计使其成为制药、电子和光电子行业的理想选择，确保系统无污染。
腐蚀性气体处理：N型号的氮气清洗功能使其能处理蒸气和低浓度腐蚀性气体，适用于轻度腐蚀性工艺。
EPX系列泵的灵活性和高效性使其在半导体、科研和工业生产中具有广泛应用前景。
3. 操作流程
正确操作EPX系列真空泵是确保其性能和安全的关键。以下是详细的操作步骤：
3.1 准备与安装
安装位置：在连接电源前，确保泵已正确安装在真空系统中，以避免意外启动导致伤害或设备损坏。
进气保护：切勿移除进气网罩或在进气口暴露时运行泵。若涉及危险物质，泵必须与大气和工艺系统隔离。
管道连接：使用柔性连接将泵进气口与工艺系统连接，减少振动和应力。管道应尽量短，内径不小于泵进气口。安装前移除进气法兰保护盖，使用Edwards centering O-ring和爪形夹具密封。
3.2 连接
冷却水：通过客户指定水连接器（参考手册图2，项目4和9）连接冷却水供应和回路管道。确保冷却水符合环境条件（湿度和温度，参考手册表5）。
电源：通过合适的保险/隔离器连接电源，使用保护地线螺栓（图2，项目3）接地，符合当地电气规范。
控制接口：通过Tool Interface Module (TIM)或End User Controller (EUC)连接外部控制设备。EPX L、N和NE系列使用EUC进行本地和网络控制；EPX E系列可通过EUC或Pump Display Terminal (PDT)手动操作。
3.3 启动泵
3.4 监控与控制
3.5 停止泵
注意事项
4. 使用细节
EPX系列真空泵的使用细节涵盖其操作范围、变体功能和保护机制：
操作范围：泵可在从大气压到极限真空的范围内运行，泵腔内无润滑或密封流体，确保系统清洁，无油回迁风险。
变体与应用：
EPX L：用于清洁任务（如负载锁定），通过EUC支持本地和网络控制。
EPX N：配备气体模块，支持氮气清洗，适用于稀释工艺气体的轻任务应用。
EPX NE：轻工应用泵，支持网络和本地控制。
EPX E：可通过EUC或PDT手动操作，适合网络控制。
容量与配置：提供180 m³/h（EPX180LE/NE）和500 m³/h（EPX500LE/NE），电压选项为200/208 V或400 V，水接头选项为1/4、3/8、9/16英寸BSP或无快速连接。
冷却系统：集成水冷却电路，适合洁净室环境，避免风扇冷却的不便。
性能优化：EPX Twin在1 bar至0.2 mbar间性能更佳，适合负载锁定和快速循环应用。
保护机制：配备热断开开关等传感器，检测过热等故障时自动停机；EPX N型号的氮气清洗流量开关（设定为12 slm）监控流量。
5. 故障排除
以下是EPX系列真空泵的常见故障及解决方法：
| 故障 | 可能原因 | 解决方法 |
|---|
| 泵关闭（报警LED亮） | 过热、驱动器故障 | 冷却泵至少20分钟，检查冷却水供应（参考手册第2.4节），重新启动。 |
| 低氮气流量（警告LED亮） | 氮气供应不足 | 验证氮气流入气体模块，若问题持续，联系Edwards服务中心。 |
| 重新启动时噪音 | 运行信号移除后快速重新应用 | 等待泵完全停止后再重新应用运行信号，噪音无害。 |
| 连接问题 | 控制设备与接口连接错误 | 检查接口连接（参考手册第3.11节），若问题持续，联系Edwards服务中心。 |
安全与维护
电气安全：未接地或电气连接错误时禁止操作。泵内无用户可维修部件，维修需由Edwards专业人员进行，断电后等待4分钟再拆除盖子。
泵卡住：若泵卡住，使用手套、眼镜和面罩，注意可能出现的硫酸铝粉尘和硫黄味。
服务支持：联系Edwards服务中心获取维修、备件或配件，订购时提供型号、序列号和部件信息。退货需附带完成的HS2污染表格。
6. 结论
爱德华EPX系列真空泵以其卓越的性能、灵活的应用和可靠的操作，成为高真空应用的理想选择。其无油设计、高效泵速和氮气清洗功能使其在半导体、制药和科研领域表现出色。通过遵循正确的操作流程、定期监控和及时维护，用户可确保泵的高效运行。
