工控维修

一、真空计概述

真空计，又称真空表或真空规管，是一种专门用于测量气体压强或真空度的仪器。它通过测量封闭空间内气体分子运动产生的压力来间接反映真空度的高低。在科研和工业生产中，真空计被广泛应用，用于精确控制真空环境，确保实验或生产过程的稳定性和精确性。

二、真空计的原理

真空计的工作原理基于不同气压下气体分子的物理效应变化。根据测量原理的不同，真空计主要可分为三大类：利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。

1. 利用力学性能的真空计

• 波尔登规（Bourdon Gauge）：利用细铜管在气体压力作用下的舒展现象，带动杠杆和齿轮旋转，使指针指示在不同刻度上，从而读出气压值。

• 薄膜电容规：金属膜片在不同压力下变形，导致与电极之间的电容变化，通过测量电容变化量来推算气压值。

2. 利用气体动力学效应的真空计

• 皮拉尼电阻规（Pirani Gauge）：利用电阻与温度的关系，通过测量热丝在不同气压下保持的温度变化来推算气压。

• 热电偶规：与皮拉尼电阻规类似，但直接测量热丝的温度变化，而不是电阻变化。

3. 利用带电粒子效应的真空计

• 热阴极电离规：热阴极发射电子，电离真空中的气体分子，收集产生的离子电流来推算气压。

• 冷阴极电离规：利用磁控放电电离气体分子，收集离子电流进行气压测量。

三、真空计的使用方法

1. 选择合适的真空计：根据测量需求选择合适的真空计型号和量程。

2. 校准真空计：在使用前进行校准，确保测量结果的准确性。

3. 连接真空计：将真空计连接到被测设备或容器上，确保连接部位密封性良好。

4. 启动测量：开启被测设备或容器，待其达到稳定状态后开启真空计进行测量。

5. 读取数据：稳定后读取真空计显示的数据，注意数据的稳定性和准确性。

6. 结束测量：测量完毕后关闭真空计和被测设备或容器，妥善保管真空计。

四、真空计的故障及维修方法

1. 无法启动

• 检查电源：确认真空计是否插好电源，插头是否松动。

• 检查保险丝：查看保险丝是否烧坏，必要时更换。

• 检查开关：确认开关位置正确，设置无误。

2. 读数不准确

• 检查连接口：确认连接口是否松动，连接是否紧密。

• 检查量程设置：确认量程设置是否正确，避免超出测量范围。

• 检查传感器：传感器损坏可能导致读数不准确，需更换传感器。



3. 读数过高或过低

• 检查气体流量：气体流量异常可能影响读数，需检查气体流量是否正常。

• 检查真空管质量：真空管质量不佳也可能导致读数不准确，需更换真空管。

4. 漏气

• 检查密封性：确认真空计和真空管的密封性是否良好，必要时进行密封处理。

• 检测隐藏漏气：使用灌注气体等方法检测隐藏漏气点，并进行修复。

5. 预防措施

• 定期检查：定期对真空计进行维护和检查，确保其正常工作。

• 保持清洁：保持真空计清洁，避免干扰测量结果。

• 安全操作：注意操作安全，避免操作不当导致设备损坏或安全事故。

五、总结

真空计作为测量真空度或气压的重要工具，在科研和工业生产中发挥着重要作用。了解其工作原理、掌握正确的使用方法以及处理常见故障的方法，对于确保测量结果的准确性和设备的稳定运行至关重要。同时，定期维护和检查真空计也是保证其长期稳定工作的关键。

六、容济机电维修过的真空机品牌和型号、

   1、Inficon

（1）Sky CDG025D: Capacitance Diaphragm Gauge

（2）Sky CDG100D: Capacitance Diaphragm Gauge

（3）Sky CDG200D: Capacitance Diaphragm Gauge

（4）Skyview: Combination Pirani and Cold Cathode Gauge

   2、Edwards

（1）nEXT系列：nEXT730D，nEXT930D

（2）Active Pirani系列：APG100，APG200

（3）Active Inverted Magnetron系列：AIM-X，AIM-S

   3、Pfeiffer Vacuum

（1）ActiveLine系列：TPR 280，TPR 270

（2）DigiLine系列：DPG 102，DPG 109

（3）Compact系列：PCR 260，PCR 270

   4、MKS Instruments

（1）Granville-Phillips系列：370 Stabil-Ion，375 Convectron，390 Micro-Ion

（2）Baratron系列：627D，629A

（3）PDR系列：PDR2000

   5、Leybold

（1）Thermovac系列：TTR 91，TTR 101

（2）Ceravac系列：CTR 100，CTR 101

（3）Ionivac系列：ITR 90，ITR 91

   6、Agilent Technologies

（1）ConvecTorr: Convectron Gauge

（2）UHV Ionization Gauge: Ultrahigh Vacuum Gauge

（3）FRG-700: Full Range Gauge

   7、Teledyne Hastings

（1）DV-6: Thermocouple Vacuum Gauge

（2）HPM-2002: Digital Vacuum Gauge

（3）HVG-2020B: Digital Vacuum Gauge

   8、Brooks Instrument

（1）5866: Capacitance Manometer

（2）5850: Mass Flow Controller

（3）5863: Digital Pressure Gauge

   9、Kurt J. Lesker

（1）945系列：Inverted Magnetron Gauge

（2）350系列：Pirani Gauge

（3）354系列：Ionization Gauge

   10、ULVAC

（1）G-Tran系列：G-Tran ST1，G-Tran PT1

（2）SW-1系列：SW-1

（3）M-100系列：M-100

   11、InstruTech

（1）B-RAX 3000: Vacuum Gauge Controller

（2）CDG-500: Capacitance Diaphragm Gauge

（3）IGC100: Cold Cathode Gauge

   12、Thyracont

（1）Smartline系列：VSR，VSP

（2）Digitalline系列：VD8，VD12

（3）Analogline系列：VMA，VPA

   13、Agilent

（1）XGS-600: Gauge Controller

（2）FRG-720: Full Range Gauge

（3）UHV-24: Ultra High Vacuum Gauge

   14、Sens4

（1）VQM-83: Vacuum Quality Monitor

（2）VSM-32: Vacuum Sensor Module

   15、Dycor (AMETEK)

（1）Dycor Quadlink: Residual Gas Analyzer

（2）Dycor 1000: Vacuum Gauge

   容济机电公司长期维修真空计，拥有接近30年的维修经验，可以快速抢修好各类仪器，另外回收和销售各类真空计，欢迎咨询。