工控产品

本产品为AXCELIS 离子注入设备专用静电吸盘（Electrostatic Chuck, ESC），部件号 539206，来源于半导体产线设备拆机，整体成色良好，功能正常，表面存在正常使用痕迹，不影响实际使用与真空吸附性能。

静电吸盘是离子注入机核心工艺部件之一，用于在高真空、高能离子束环境下稳定吸附并固定晶圆（Wafer），确保注入过程中的位置精度、热传导及工艺一致性。该型号广泛应用于 AXCELIS 离子注入系统，适合设备维护、更换及备件库存。

产品特点包括：

• 原装工业级半导体部件，非仿制品

• 适用于高真空、离子注入工况

• 圆形结构，精密加工，同心度高

• 表面沟槽结构有助于晶圆热管理

• 适合维修、更换或产线备件用途

适用客户群体包括：
半导体晶圆厂、设备维护商、离子注入设备集成商、科研机构及真空系统工程团队。