日本ULVAC(爱发科)CRTM-6000型膜厚仪(薄膜沉积监控器),用于真空镀膜及溅射工艺中的膜厚实时监测与控制,是薄膜制程中的关键控制设备。

该设备通过石英晶体振荡原理(QCM),实时测量沉积速率及膜厚变化,实现高精度镀膜控制,广泛应用于半导体、光学镀膜、真空蒸镀及溅射工艺中。
本设备为日本原装拆机件,功能完好,屏幕显示清晰,按键灵敏,整体成色如图,适合设备维修、更换或实验使用。

产品特点
品牌:ULVAC(爱发科)
型号:CRTM-6000
类型:膜厚仪 / 膜厚监控器
测量原理:石英晶体微天平(QCM)
实时显示膜厚及沉积速率
高稳定性与高精度测量
操作界面简洁,支持参数设置
技术参数(参考)
| 参数 | 说明 |
|---|
| 品牌 | ULVAC |
| 型号 | CRTM-6000 |
| 测量方式 | 石英晶体振荡(QCM) |
| 测量参数 | 膜厚 / 沉积速率 |
| 显示方式 | LCD显示 |
| 控制方式 | 面板按键 |
| 应用工艺 | 蒸镀 / 溅射 |
| 产地 | 日本 |
| 状态 | 拆机件 |
产品信息
型号:CRTM-6000
序列号:00444
产地:日本
应用领域
真空镀膜设备
半导体制造
光学镀膜
PVD / 蒸发镀膜
磁控溅射
注意事项