Celerity VDM100 与 VDMW300022V1L 蒸汽输送模块（Vapor Delivery Module），用于半导体及薄膜设备中的液体前驱体气化与稳定输送。设备支持 Ethernet 与 I/O 通讯，内置 250V/3A 快熔保险接口，气化流量范围约 3 SLPM H₂O，接口完整，外观良好。
Celerity VDM 系列是高精度蒸汽发生与输送模块，主要用于将液体化学前驱体（如 TEOS、TDMAT、DEZ 等）均匀汽化后输送至 CVD、ALD、PECVD 等反应腔。
其模块化设计可实现快速加热、稳定流量控制、实时诊断接口，并可通过 Ethernet 或 I/O 接口进行远程监控。
| 参数项目 | 说明 |
|---|
| 型号 | VDM100 / VDMW300022V1L |
| 品牌 | Celerity |
| 主要功能 | 液体前驱体汽化与稳定气体输送 |
| 电源输入 | 250 VAC，3A 快熔保险 |
| 通讯接口 | Ethernet、I/O、DIAG 接口 |
| 流量范围 | 约 3 SLPM H₂O |
| 安装方向 | 竖直安装（进口向下） |
| 制造年份 | 2012（VDMW300022V1L） |
| 外壳材质 | 铝合金外壳，CE 认证 |
| 状态 | 接口完整，标签清晰，表面轻微使用痕迹 |
| 产地 | 美国（Made in USA） |
应用领域 / Applications
半导体工艺设备（CVD、ALD、PECVD）
光电薄膜与显示器制造
纳米材料沉积系统
实验室蒸汽输送与气化试验平台
背面接口说明 / Rear Panel Connections
包装与配置 / Included Items
成色与状态 / Condition
外观整洁，模块未拆修
接口齐全，标签完整清晰
已通过基本电源与接口检查
适合用于设备替换、维修或二次集成
