一、旋涂仪概述
旋涂仪是一种广泛应用于实验室和工业生产中的设备,主要用于将样品溶液均匀地涂覆在基板表面。常见于薄膜制作、溶胶凝胶实验等领域,其操作简便、效率高,是材料科学和微电子技术中不可或缺的工具。
二、旋涂仪原理
旋涂仪的工作原理基于离心力的作用。当基板被固定在高速旋转的平台上时,滴加在基板上的样品溶液会在离心力的作用下迅速铺展开来,形成均匀的薄膜。匀胶旋涂仪通过控制旋转速度、旋转时间和滴液量等参数,可以精确调节薄膜的厚度和均匀性。
三、旋涂仪的使用方法
旋涂仪的使用大致可以分为以下几个步骤:
准备样品溶液:将待涂覆的样品溶解在适当的溶剂中,制备成一定浓度的溶液。
安装基板:选择适合尺寸的吸盘,将其固定在旋转台上,确保基板位于吸盘正中央。
设置参数:根据实验需求,设定旋涂仪的旋转速度和旋转时间。通常分为两个步骤,第一步用于初步铺展溶液,第二步则用于细化薄膜厚度。
滴加样品:在基板中心位置滴加适量的样品溶液,并迅速盖上防护盖以防意外溅出。
启动旋涂:确认参数设置无误后,启动旋涂仪,样品溶液将在离心力作用下均匀涂覆在基板上。
干燥处理:旋涂完成后,将基板移出旋涂仪,进行干燥处理,如使用烘箱或离心干燥等方法,使样品在基板上干燥固化。
关机与清理:关闭旋涂仪,清理旋转台和吸盘上的残留物,保持设备干净干燥。
四、旋涂仪的常见故障及维修方法
基材污染:
旋转台故障:
滴液不均匀:
机械部件磨损:
控制系统故障:
五、总结
旋涂仪作为一种高效、精确的涂覆设备,在材料科学和微电子技术领域发挥着重要作用。了解其工作原理、掌握正确的使用方法、及时发现并解决常见故障,对于保证实验效果和延长设备寿命具有重要意义。
六、容济机电维修过的旋涂仪品牌和型号
1、 Laurell Technologies Corporation
(1)WS-400B系列:WS-400B-6NPP-LITE,WS-400B-6NPP-LITE-S,
WS-400B-6NPP-LITE-6K,WS-400B-6NPP-LITE-8K
(2)WS-650系列:WS-650-23,WS-650-23NPP,WS-650-8B,WS-650-8B-6K
2、SÜSS MicroTec
(1)LabSpin系列:LabSpin 6,LabSpin 8
3、Specialty Coating Systems (SCS)
(1)P6700系列:P6700,P6708
4、Chemat Technology
(1)KW-4A: 精密旋涂仪
(2)KW-4B: 精密旋涂仪
5、Ossila
(1)Spin Coater系列:Ossila Spin Coater
6、Spin Coating by Integrated Technologies
(1)VTC-100系列:VTC-100
(2)VTC-200系列:VTC-200
7、Delta Scientific Equipment
(1)Spin150系列:Spin150
8、APT GmbH
(1)Spin150: 高精度旋涂仪
9、Future Digital Scientific
(1)WS-650Mz-23NPPB: 精密旋涂仪
(2)WS-650-23NPP-LITE: 精密旋涂仪
10、Holmarc Opto-Mechatronics
(1)HO-TH-05: 精密旋涂仪
(2)HO-TH-06: 精密旋涂仪
11、Midas System
(1)Midas Spin Coater: 高精度旋涂仪
12、Brewer Science
(1)Cee 200X: 精密旋涂仪
(2)Cee 300X: 精密旋涂仪
13、POLOS by SPS-Europe
(1)POLOS 200: 精密旋涂仪
(2)POLOS 400: 精密旋涂仪
14、EV Group (EVG)
(1)EVG150: 半导体制造用旋涂仪
15、Tokyo Ohka Kogyo (TOK)
(1)SSP-300: 高精度旋涂仪
容济机电公司长期维修旋涂仪,拥有接近30年的维修经验,可以快速抢修好各类仪器,另外回收和销售各类旋涂仪,欢迎咨询。