工控产品

【产品名称】韩国AIK AP CTC-B 等离子气体控制器（Plasma Utility Box / Gas Panel）
【产品型号】AP-CTC-B（Serial No: AP-DIEHARD-UT-U223）
【品牌】AI Korea (AIK) —— 韩国知名半导体零部件供应商
【核心功能】N2（氮气）与CDA（洁净干燥空气）压力调节与数字监控

【产品详情】
本品为AI Korea生产的AP-CTC-B型等离子气体分配箱，是半导体干法刻蚀（Dry Etch）或沉积设备中的关键气路控制单元。设备采用工业级设计，前面板配备高精度数字压力表，可实时监控气体压力，确保工艺稳定性。

【技术参数与接口】

• 显示方式：双路数字压力显示（N2 Pressure / CDA Pressure），读数清晰直观。

• 调节方式：配备N2 Adj. 和 CDA Adj. 旋钮，可精细调节气体输出压力。

• 控制接口：

• I/O接口（DB25针）：用于设备间信号通讯与联锁。

• P/S接口（DB25针）：电源与状态信号。

• MFC接口（DB9针）：连接质量流量计（Mass Flow Controller），实现气体流量闭环控制。

• 气路接口：Proc Gas（工艺气体）、CDA（洁净气）、N2（氮气）进口，标配卡套接头。

• 电源：标准工业电源接口（图片显示已连接）。

• 外观：蓝色前面板，银色金属机箱，机架式或台面式安装。

【使用状态与优势】

• 来源：实验室/产线退役设备，实物拍摄，成色如图（功能完好，表面有正常使用痕迹）。

• 应用场景：

• 作为ICP/CCP刻蚀机的气路控制模块；

• 用于PVD/CVD设备的背底真空控制（CDA）；

• 作为实验室气路系统的二级分配箱；

• 维修备件：替换老旧的气体控制面板。

• 优势：相比国产替代件，AIK原厂件兼容性更好，接口定义标准，带数字显示便于排查气路故障。

【售后与服务】

• 现货供应，支持通电测试发货。

• 提供实物细节视频确认。

• 适用于高校科研、设备维修商、二手设备翻新集成商。